真空阀门的基本特点是具有较高的气密封(密封可靠);对气流的阻力尽量小(即阀门的流导尽可能大);密封部件耐磨性好,能反复使用、寿命长;阀体材料及密封件放气量小;操作灵活,容易清洗安装,性能可靠、维修方便。此外,对于超高真空阀门还要求能耐高温烘烤(℃);对节流阀要求能均匀调节气体流量。
常用真空阀门阀体的材料主要有金属和玻璃。手动真空阀门驱动手轮采用高强度塑料材料。玻璃真空活塞又称“考克”,一般用于玻璃真空系统、小型真空装置、真空计规管或校准系统上。优点是制作比较容易、使用方便,易于清洗观察,化学稳定和绝缘性好,放气量较小等。
不足之处是由于玻璃的脆性及活塞弯口处涂一层油脂,故限制了它的使用范围。工业生产所需要的真空装置,如真空镀膜设备、真空冶炼设备、真空热处理设备、空间环境模拟设备、火箭发动机模拟设备、卫星表面带电模拟设备、粒子加速器及受控核聚变装置、重离子加速器等都采用金属阀门。
真空阀门通常根据阀门的工作特性、传动原理、连接方式和用途等进行分类。
根据工作压力分:低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门。
根据用途分:截止阀、隔离阀、充(放)气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀等。
根据传动原理分:手动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀和液动式真空阀。
根据材料分:玻璃真空活塞(考克)、金属真空阀。
根据结构特点分:挡板阀、翻板阀、蝶阀、球阀、连杆阀、隔板阀、闸阀、双通阀、三通阀、四通直通阀和直通阀等。