01氦质谱检漏仪原理

氦质谱检漏仪是一种常用于检测真空系统或密封系统中微小泄漏的仪器。其原理基于氦气的低渗透性和高灵敏度。

混合泄漏氦气后的气体到达氦质谱检漏仪中的离子发生器内，被灯丝发出的电子束离子化。离子经过特定电压加速后，飞向氦检仪内的磁场进行偏转。根据质量的不同，得到不同的偏转半径，筛选出氦离子到达分析管，产生微电流，经过高性能低4噪放大后得到可读取的电流信号，通过标定建立漏率关系，从而确定漏率。

02为什么用氦气作为示踪气体?

氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体有以下几个原因：

背景噪声小：

大气中含量少，只有5ppm，5ppm即为百万分之五。

低渗透性：

氦气是一种非常小的分子，具有很高的渗透性，很容易穿过小孔，并存在逆扩散现象。。这意味着即使在微小的泄漏孔或裂缝中，氦气也能够迅速扩散并进入探测器进行检测

惰性气体：

对产品，对现场，对人员安全。氦气是一种惰性气体，不会与其他物质发生化学反应。这样可以避免氦气与被测系统中的材料发生反应，影响检测结果，对操作人员安全性也大大提高。

易检测性：

氦气在质谱仪中具有独特的质谱特征，如质量数为4和相对丰度较高。这使得质谱仪能够高度灵敏地检测到微小量的氦气，从而准确地确定泄漏的位置和大小。

综上所述，氦气作为示踪气体在氦质谱检漏仪中具有渗透性好、惰性、易检测和广泛应用等优点，因此被广泛采用用于泄漏检测。

03氦质谱检漏仪常用的检漏方法

常用的氦质谱检漏仪有以下几种检漏方法，每种方法都有自己的优点和适用场景：

1、喷枪的真空检漏法：

可以定位漏点。具有高精度。消耗较少的氦气。主要应用于精密仪器、压力容器等领域。

2、吸枪法：

可以定位漏点。无需抽真空。主要用于电厂检漏和航天火箭气控系统检漏。典型应用是换热器检漏。

3、累积真空测漏：

具有高精度。可以测量整体泄漏量。在线检测方便。具有高重复性。典型应用是消防器材钢瓶的检漏。

4、背压法：

用于对密封装置进行指定检测。具有高重复性。典型应用是电子元件的检漏。

背压法氦检

5、真空累积法：

自动检测容易。具有极高的精度。高重复性。典型应用是氦质谱检漏仪用于锂电池检漏系统。

6、吸枪的常压吸积法：

在线检测方便。无需抽真空。在航天领域中，常用于航天晶体管检漏。

以上是六种常用的氦谱检漏仪的检漏方法及其常见应用场景。

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