加速器SF6回收抽真空装置

1，抽真空：

真空预抽仅对针对加速器，预抽真空度小于10Pa，真空预抽时间应小于8h。

2，充气：

(1)SF6充气后，单个压力可在0.4~0.8MPa(表压)间可调；

(2)加速器从真空状态充气到最高压力0.8MPa的总时间不超过8h。充气速率不得过快，如有必要，请在必要位置安装加热装置及温度计等。

(3)加速器充气完成后，储气罐的SF6压力应高于0.05Mpa（表压），防止外界气体泄漏进入储气罐；

(4)充气过程中，还需对SF6气体进行干燥、除尘等，有效过滤SF6气体的固体或液体杂质、油污等，保证进入加速器内SF6气体露点仪检测露点小于-44℃，过滤器规格可过滤颗粒粒径小于1.1um，油分控制小于1.2μg/g；

(5)干燥装置可再生。此外再生时排出的物质需要通过管道排出室外，需配齐系统与排气管道之间的连接管；

3，气体回收：

(1)回收完成后，加速器的真空压力小于Pa。

(2)从最高工作压力（0.8Mpa）至回收结束时间不超过10小时。

(3)回收时，需要对SF6气体进行除尘、干燥，过滤器要求去除颗粒粒径小于1um，水分也需要过滤保证回收到储气罐气体的干燥，以保证气体纯度。

4，充空气：

回收完成后，加速器需要放入干净空气，使钢筒内压力与周围环境压力平衡，但仍需严格控制流量，充气口温度不得低于2℃。进气口需要设置过滤装置过滤空气中的颗粒，过滤装置可过滤颗粒粒径小于4um。充气时，如在距离声源外1m处噪声超过65dB（A）。

武汉华能联创电气有限公司定制SF6储气罐，SF6综合气站。