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当今世界，随着科学技术的迅猛发展，静电加速器在医学、物理学、核物理学等领域发挥着重要的作用。在医学领域，国内首套医用加速器BNCT系统——极锋刀TM（NeuPexTM），即采用了真空串列静电加速器，是在普通静电加速器基础改进得到的新一代产品。

位于北京的串列加速器升级工程即北京放射性核束装置已经投运，达到国际同类装置先进水平，是目前亚洲唯一已运行的在线同位素分离型装置，形成一器多用、多器合用、多领域、多学科的重要科研平台。

HI-13串列加速器

电荷剥离装置是串列静电加速器必不可少的重要组成部分,它的性能直接关系到串列静电加速器的束流品质，许多要求高束流品质、长时间连续高精度测量的串列静电加速器，纷纷采用气体剥离器。

气体剥离循环系统示意图

为实现电荷剥离装置的系列化，和保障串列静电加速器的稳定运行及持续升级，中科九微携手中国原子能科学研究院，强强联合，合力研发出其重要组成部分——气体剥离循环装置。

产品关键性能：

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口。

分子泵抽速曲线

分子泵安装在串列静电加速器的钢筒内,筒内充有高压绝缘气体，该分子泵具备在高气压下工作超高性能。

该产品的成功研制，填补了国内真空行业分子泵在串列静电加速器的电荷剥离装置应用的空白。为高气压、强电场等特殊工况下使用分子泵的需求提供了国产选择，保障了真空领域真空泵的多元化，实现高端设备的国产化。

中科九微作为中国真空行业的龙头企业，始终秉持一贯的匠心精神，历时2年，成功研发出一款用于“气体剥离循环装置”的涡轮分子泵。该款定制开发的分子泵，主要用于特殊气体的循环传输，无需前级泵维持前级真空，无需额外冷却部件（自然对流冷却），无需复杂电子电路控制，是国内首套研发成功的，应用于串列静电加速器工况下的定制化高性能分子泵产品。1—CF法兰2—泵壳3—泵体4—电机航插5—接地孔6—CF25前级法兰历经多年耕耘，中科九微现已推出全新的第二代分子泵产品，主要针对（泛）半导体、工业真空、分析仪器和科研等领域进行全新的设计和优化升级，包含DN63→DN全系列产品，同时我司亦提供定制化开发服务。关于中科九微：

中科九微科技有限公司由中国科学院微电子研究所、中科九微控股集团年联合成立，是一家专注于真空领域的高科技公司。怀助力半导体产业发展之初心，中科九微以赋能高端制造为己任，致力于融合自主科技研发、智能制造、销售服务于一体的半导体核心设备及核心部件厂商。中科九微旗下拥有近五百项专利技术，被评定为国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、荣获年“全国五一劳动奖状”，“全国就业与社会保障先进民营企业”等殊荣。

公司产品包括干式真空泵、分子泵、真空阀门、真空腔体及精密加工件、薄膜真空规、真空压力开关等，广泛应用于半导体、光伏太阳能、生物医药、质谱分析、科研院所等领域。中科九微不遗余力地开发创新的技术、卓越的解决方案和产品，以真空技术赋能高端制造，持续地为客户创造价值，为行业发展注入动力。

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